探针式轮廓仪 Dektak XT

表面形貌仪 - 仪器详情

仪器简介

Dektak XT 是一款高性能探针式表面轮廓仪，通过探针沿样品表面滑过，精确测量表面形貌、台阶高度和粗糙度。

核心技术参数

• 垂直测量范围：最高 1 mm

• 垂直分辨率：可达 0.1 nm（6.5 μm 量程下）

• 台阶高度重复性：≤ 0.4 nm（1 μm 标准台阶）

• 最大扫描长度：150 mm

• 单次扫描数据点：最多 120,000 个

• 探针压力：1 – 15 mg，可精确控制

• 探针曲率半径：2 μm（标准）

• 样品台尺寸：最大支持 8 英寸晶圆

• 最大样品厚度：50 mm

• 光学系统：彩色 CCD，视场 1 – 4 mm 可调

主要功能与应用

• 薄膜厚度测量：精确测量沉积薄膜的台阶高度

• 表面粗糙度分析：半导体、光学元件、精密机械零部件表面质量鉴定

• 薄膜应力测量：通过曲率变化计算残余应力

• 3D 形貌成像：多次扫描获得表面三维形貌

• 应用领域：半导体、微电子、太阳能电池、LED、MEMS、材料科学等

样品要求

• 表面干燥、无液体成分

• 非磁性、非软质样品（接触式测量）

• 样品底部及表面相对平整，无明显弯曲变形

• 最小可测厚度约 10 nm（建议 50 nm 以上）